研究方向
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张福才等人提出了一种基于波前调制的CMI（相干调制成像）方案。CMI是一种有效的无透镜衍射成像方法，算法收敛速度快，对数据缺陷的鲁棒性高。
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通过移动样品或者孔径光阑获得被照明样品区域有部分重叠的衍射图样，增加数据冗余性，扫描相干衍射成像(ptychography)打破了CDI对孤立样本的限制，同时实现了大视场范围和高空间分辨率的定量相位成像，其空间分辨率不受扫描间隔的影响，视场范围理论上可以无限大，且收敛速度快、抗噪声能力强。
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电子ptychography可同时对重原子和轻原子进行高分辨率成像，且不受 TEM“信息 极限”的制约，理论上能够达到电子束波长所决定的分辨极限，而且还具有三维分层重构能力。近年来的研究表明电子ptychography有巨大的潜力在极低的电子剂量和束能下以超高的空间分辨率获得生物化学材料的衬度和相位信息。
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波前测量（也称波前传感）是指对光学波前（或电磁波前）进行测量或重建的技术。我们创新性的将空间域调制叠层扫描相干衍射成像技术（Spatial-Modulator Ptychography）应用于对空间波前的测量分析。解决 Shack-Hartmann 波前传感器在光信号较弱情况下分辨率难以提高，成本较高，在强闪烁下无法保证测量精度等种种问题。
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本项目研究基于几何光学光刻技术的分辨率极限、造价昂贵、掩模版易损坏等问题，提出了基于波前衍射传播算法的图案生成技术。有望突破原光刻机中投影物镜的限制，特别对新型光源（比如FEL）光刻具有巨大潜力，是目前光刻研究的一个前沿方向。
学术成果
新闻中心
03
2024-07
18
2024-06
16
2024-04
11
2024-04
26
2024-03
15
2023-12